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日本AMAYA株式會社天谷制作所——半導(dǎo)體設(shè)備
日期：2025-07-02 08:47
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摘要：
常壓CVD裝置
準(zhǔn)備了滿足顧客需求的產(chǎn)品陣容。同時，定做也對應(yīng)。
＜產(chǎn)品特征＞
對應(yīng)于半導(dǎo)體制造用、太陽能電池制造用等各種用途
從少量生產(chǎn)到大量生產(chǎn)
形成SiO2、BPSG、BSG、PSG等各種膜種
采用SiC托盤防止重金屬污染，從低溫（200℃）到中溫（500℃）區(qū)域可以廣泛成膜
A200V 單片式常壓CVD裝置
AMAX800V
8英寸連續(xù)式量產(chǎn)用常壓CVD裝置
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常壓CVD裝置
準(zhǔn)備了滿足顧客需求的產(chǎn)品陣容。同時，定做也對應(yīng)。
＜產(chǎn)品特征＞
對應(yīng)于半導(dǎo)體制造用、太陽能電池制造用等各種用途
從少量生產(chǎn)到大量生產(chǎn)
形成SiO2、BPSG、BSG、PSG等各種膜種
采用SiC托盤防止重金屬污染，從低溫（200℃）到中溫（500℃）區(qū)域可以廣泛成膜
A200V 單片式常壓CVD裝置
AMAX800V
8英寸連續(xù)式量產(chǎn)用常壓CVD裝置
AMAX1200
12英寸連續(xù)式量產(chǎn)用常壓CVD裝置
A6300S
小口徑晶圓連續(xù)式量產(chǎn)用常壓CVD裝置
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間歇式常壓CVD裝置
太陽能電池用裝置
AMAX1000S
125mm/156mm太陽能電池量產(chǎn)用連續(xù)式常壓CVD裝置
玻璃基板成膜裝置
對應(yīng)FPD等剛性/撓性器件的常壓CVD裝置
