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產(chǎn)品中心
產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱： 超快光譜干涉型測厚儀

  • 產(chǎn)品型號：
  • 產(chǎn)品廠商：OTSUKA大塚電子
  • 產(chǎn)品價格：0
  • 折扣價格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
它以超高速，實時，高精度的晶片和樹脂非接觸方式測量晶片等的研磨和拋光過程。
詳情介紹：
特殊長度
  • 可以進行非接觸式，非破壞性的厚度測量
  • 折反射系統(tǒng)（可以從一側(cè)接觸進行測量）
  • 高速（*高速度5kHz）和實時評估成為可能
  • 實現(xiàn)高穩(wěn)定性（重復(fù)精度不超過0.01％）
  • 抗粗糙性強
  • 可以應(yīng)付任何距離
  • 支持多層結(jié)構(gòu)（*多5層）
  • 內(nèi)置NG數(shù)據(jù)排除功能
  • 可以進行距離（形狀）測量（內(nèi)置傳感器隨附的選件） *

*通過在測量范圍內(nèi)的光學(xué)距離測量

 

 

要點1：采用原創(chuàng)技術(shù)

實現(xiàn)高波長分辨率，同時支持廣泛的膜厚度。
大冢電子的獨特技術(shù)封裝在緊湊的機身中。

 

要點2：高速支持

它
也是工廠生產(chǎn)線的理想選擇，因為它可以**的間距測量運動的物體。

 

第三點：支持各種表面條件的樣品

約有φ20μm的微小斑點，
可以在各種表面條件下測量樣品的厚度。

 

Point4：與各種環(huán)境兼容

由于可以從*遠200 mm的距離進行測量，因此
可以根據(jù)目的和應(yīng)用構(gòu)建測量環(huán)境。

 

測量項目
  • 厚度測量（5層）

 

用
  • 各種厚膜構(gòu)件的厚度

 

 

 

  • 產(chǎn)品信息
    •  
  • 規(guī)格
    •  
  • 基本配置
    •  
  • 測量例

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